拉晶切片超纯水设备应用工艺介绍
-作 者： ltldlin
-时 间： 2013/8/2 8:42:21
-阅 读：1552
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拉晶切片超纯水传统工艺流程
预处理系统-反渗透系统-粗混床-精混床-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)
预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象 (≥15MΩ.CM)
预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精密过滤器-用水对象 (≥5MΩ.CM)
拉晶切片超纯水新型工艺流程
预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)
预处理-一级反渗透-二级反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)
预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥5MΩ.CM)
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