电子超纯水、纯水机电子超纯水一般工艺流程:
(水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级) 典型工艺2:原水→预处理→反渗透→EDI→精密过滤→用水点 •预处理-反渗透-中间水箱-水泵-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象 •预处理-一级反渗透-加药机( PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5 μ m精密过滤器-用水对象 •预处理-反渗透-中间水箱-水泵- EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5 μ m精密过滤器-用水对象 •预处理-反渗透-中间水箱-水泵- EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5 μ m精密过滤器-用水对象 应用场合: •半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路; •超纯材料和超纯化学试剂; •实验室和中试车间 •汽车、家电表面抛光处理; •其他高科技精微产品。
电子超纯水设备特点:
设备通常由多介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等构成前期预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。