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电子工业超纯水设备
【水质标准】
符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准
（18NO-CM，15MO-CM，2MO-CM和0.5MO-CM,四级)

【应用场合】

　

　

　
半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路
LCD、EL、PDP、TFT、玻壳、显像管
超纯材料和超纯化学试剂
光导纤维、光盘
汽车、家电表面电泳漆清洗用水
其他高科技精微产品
实验室和中试车间

【工艺流程】

　

　
方案一：
预处理→反渗透→初混→精混→终端后处理
方案二：
预处理→二级反渗透→EDI（CDI）→终端后处理
方案三
膜法（UF）预处理→二级反渗透→EDI→膜脱气→抛光→终端后处理

　
【设备产水量】
0.5-100T/H