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硅烷燃烧塔
气体由管道经过不锈钢燃烧桶的初级燃烧处理再由管道经过硅烷钢燃烧塔进口进入塔内一次向上运动。喷嘴喷出的液滴向下运动,经过一道洗涤。然后再塔内二次净化同时塔内装有填充料，增大与气体的接触面积，使气体与液滴处分接触，达到彻底净化效果。干净由气体经过上层的脱水层排出。由于一些气体成分不同，另以酸液或碱液作为洗涤特点1、电池片生产在PECVD环节中产生硅烷尾气、氨气治理设备2、结构简单，压损小3、处理风量大，性能稳定4、操作维护简单、方便5、净化效率98%以上